Наименование | Реализация технологии на основе проекционной литографии |
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции | Оригинал |
|
Заимствовано из оригинала |
|
|
|
Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
Трудовые действия | Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе проекционной литографии Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для изготовления фотошаблонов Руководство изготовлением комплекта фотошаблонов в соответствии с ТЗ Руководство подготовкой подложек для проведения последовательности операций ТП, основанного на проекционной литографии (фотолитографии) Подготовка установки проекционной литографии к проведению операций Руководство реализацией последовательности операций изготовления МИС СВЧ после экспонирования подложек Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка проекционной литографии Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой Регламентные работы по тестированию установок проекционной литографии |
Необходимые умения | Работать с нормативной документацией Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ |
Необходимые знания | Технология производства МИС СВЧ на основе проекционной литографии Стандарты для подготовки технологической документации САПР подготовки файлов топологии для проекционной литографии |
Другие характеристики | Ответственность за качество ТП проекционной литографии |