| Наименование | Реализация технологии на основе электронной литографии |
|
|
|
|
| Происхождение трудовой функции | Оригинал |
|
Заимствовано из оригинала |
|
|
|
| Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе электронной литографии Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для проведения электронной литографии Руководство подготовкой подложек для проведения операций экспонирования фоторезистов на установке электронной литографии Подготовка установки электронной литографии к проведению операций прорисовки топологии Руководство реализацией операций резист-процессинга после экспонирования подложек Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка электронной литографии Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой Регламентные работы по тестированию установки электронной литографии |
| Необходимые умения | Работать с нормативной документацией Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ |
| Необходимые знания | Методы электронной литографии Технология производства МИС СВЧ на основе электронной литографии Стандарты для подготовки технологической документации САПР подготовки файлов топологии для электронной литографии |
| Другие характеристики | Ответственность за качество ТП, основанного на электронной литографии |