| Наименование | Проведение тестирования и верификации разработанного маршрута проектирования фотошаблонов |
|
|
|
|
| Происхождение трудовой функции | Оригинал |
|
Заимствовано из оригинала |
|
|
|
| Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
| Трудовые действия | Определение совместно с технологами участка изготовления фотошаблонов требований к тестовым топологическим элементам заданного технологического уровня, обусловленных технологическими возможностями используемого литографического оборудования Разработка тестовых топологических элементов к фотошаблонам заданного технологического уровня Формирование наборов тестовых топологических структур для всех критических слоев с целью создания калибровочных моделей Размещение тестовых элементов в рабочем поле фотошаблона (меток и служебной технологической информации) Выполнение процедур передачи управляющей информации на участок изготовления фотошаблонов Проведение верификации и проверки литографических правил Выполнение процедур запроса проведения контрольно-измерительных тестов изготовленного фотошаблона (толщина линий, наличие дефектов, геометрических отклонений) Выполнение процедур запроса статистических данных для анализа корректности тестовых структур фотошаблонов Формирование отчета о тестировании с использованием описания соответствия изготовленного фотошаблона исходным требованиям и рекомендациям по оптимизации размещения элементов топологии, выбору методов коррекции, повышению выхода годных Внесение изменений в маршрутную карту проектирования фотошаблонов, обусловленных технологическими возможностями используемого оборудования и результатами тестирования |
| Необходимые умения | Пользоваться технической документацией Проводить полный цикл автоматизированного проектирования фотошаблонов Автоматизировать этапы разработки, запуска и анализа результатов тестов Применять методологию контроля линейных размеров топологических элементов Владеть методами проектирования фазосдвигающих фотошаблонов Создавать тестовые фотошаблоны для построения математической модели Использовать соответствующие программные средства |
| Необходимые знания | Технический английский язык Основы технологии производства интегральных схем Процессы электронно-лучевой литографии, лазерные генераторы изображения Маршрут разработки и проектирования фотошаблонов Системы проектирования программных средств, языки программирования Методики верификации фотошаблонов Методики измерения критических размеров элементов фотошаблона Маршруты аттестации фотошаблонов через измерение рассовмещения фотошаблонов в наборе; определение и классификация дефектов; сравнение исходных и проектных топологических данных с реализованными на шаблоне заданного технологического уровня |
| Другие характеристики |