Наименование | Создание математических моделей элементов коррекции оптических эффектов близости и проведение калибровки созданных математических моделей |
|
|
|
|
Происхождение трудовой функции | Оригинал |
|
Заимствовано из оригинала |
|
|
|
Код оригинала | Регистрационный номер профессионального стандарта |
Трудовые действия | Анализ технических возможностей литографического оборудования для проектирования фотошаблонов данного технологического уровня Определение необходимости проведения коррекции оптических эффектов близости Формирование скриптов коррекции и проведение коррекции оптических эффектов близости Проведение анализа методов коррекции оптических эффектов близости при проектировании фотошаблонов Определение и согласование с технологами участка изготовления фотошаблонов параметров коррекции эффектов оптической близости для формирования технологического рисунка на фотошаблоне |
Необходимые умения | Владеть методиками работы со специализированными программными платформами проектирования и верификации фотошаблонов Анализировать методы коррекции оптических эффектов близости и коррекции фазового сдвига Владеть способами коррекции оптических эффектов близости в пределах используемой системы автоматизированного проектирования Использовать и правильно комбинировать алгоритмы и программы для оптимального проектирования фотошаблонов |
Необходимые знания | Технический английский язык Раздел общей физики: оптика (дифракция, интерференция), основы фурье-оптики Процессы электронно-лучевой и оптической литографии, технологии формирования топологического рисунка с помощью лазерных генераторов изображения Особенности литографического оборудования при изготовлении фотошаблона Химические процессы травления фоторезиста Целевые системы автоматизированного проектирования Маршруты разработки и проектирования фотошаблонов Методики верификации фотошаблонов Возможности скриптовых языков Булева алгебра Методы создания моделей коррекции оптических эффектов близости |
Другие характеристики |